秘魯副矛䱛

热点2026-06-23 22:26:18315
现接受名为美小膜盖蕨(Davallia yunnanensis Christ)。云南其种加词 yunnanensis 意为“云南的小膜”。

云南小膜盖蕨(学名:)为骨碎补科小膜盖蕨属下的盖蕨一个种。 参考文献 Y Y云南

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随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。


本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。


一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口


当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。


同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。


行业面临的核心矛盾在于电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。


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二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑


DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具FIRE GDS 版图分析平台Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:


1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

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2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:

后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下


基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。


3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。


eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑


三、高难度场景的应用突破


PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:


背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测


键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。


3D DRAM检测


3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。


DRAM 阵列短路检测


独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。


四、行业落地实践与全流程应用


自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程


先进逻辑芯片制造


中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估


先进 DRAM 制造(2024-2025 年)


外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测


技术总结


在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题


该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

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DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

  烈日当头,正值蔬菜生产传统“伏缺期”,群众“菜篮子”供应保障情况如何?记者昨日从市农业农村局获悉,滁州市打出本地菜扩种增产与外地菜有效调运相结合的“组合拳”,在生产、技术、流通、监测等多环节精准发力,成功克服蔬菜夏季生产挑战,群众“菜篮子”拎得稳稳当当。

  数据显示,上半年全市蔬菜播种面积达34.2万亩,同比增长6%;产量77.3万吨,同比增长6%。特别是入夏以来,滁州市聚焦琅琊区、南谯区、来安县等地规模化蔬菜基地,一方面新建4200亩设施蔬菜,重点扩大速生叶菜种植;另一方面,组织农技人员深入田间地头,实地指导农户应用遮阳网、防虫网等抗高温栽培技术,确保高温季节生产不断档。

  入夏以来,作为区域蔬菜集散枢纽,琅琊区中垦流通·滁州国际农产品物流园积极组织商户加大从山东、河南等外地蔬菜主产区的调运力度,有效补充了本地市场的品种和数量缺口。与此同时,畅通本地流通渠道,上半年该园区蔬菜来货总量9.63万吨,其中本地菜达8096吨,占比提升至8.5%,较去年同期有所增长。此外,为推动本地菜销售,市农业农村部门联动商务、市场监管部门,开通了基地直供商超、社区的“绿色通道”,有效减少中间环节,让新鲜本地菜也能快速端上市民餐桌。

  在稳定价格方面,滁州市建立了严密的监测预警机制。市发展改革委价格监测中心构建了“基地日报、市场周报、灾情直报”三张监测网,对蔬菜生产、供应、价格实施全链条动态跟踪。根据7月上旬监测数据,黄瓜、青椒、蒜薹等部分蔬菜价格环比上月出现小幅上涨,其余品种则保持平稳。此外,滁州市加强“菜篮子”产品质量监管,让群众买得放心、吃得安心。(王太新 邢颖)

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“伏缺期”,滁州市“菜篮子”拎得稳

  凌晨四点,姚街村还笼罩在夜色中,姚家伟已经开始了每天的罡步练习。脚下的青石板被磨得发亮,那是数十年如一日坚持的痕迹。“手腕要再抬高三分,傩舞讲究的是力道内敛,不是蛮劲!”这样的指导,他已经说了不知多少遍。 

  1991年,姚家伟正式跟随父亲学习傩戏,那时这门古老艺术正濒临失传。“我父亲姚克水时常在家小声哼唱,生怕被人听见。”姚家伟回忆道。正是这微弱的声音,点燃了他对傩戏的热爱,也将传承池州傩戏作为自己毕生的使命。 

  匠心传承,从父亲手中接过傩戏火种 

  池州傩戏被誉为“戏曲活化石”,保留了宋杂剧、南戏等古老戏曲形态,最初用于民间驱邪纳福、祈求丰收。20世纪60年代,这门古老艺术面临失传危机。 

  姚家伟出生在傩戏世家,祖辈都是傩戏传承人。在父亲的小声哼唱中,儿时的姚家伟对傩舞傩戏产生了浓厚兴趣。1991年,他正式跟随父亲和其他老艺人学习傩戏。 

  傩戏表演要求极高,需要通过肢体语言传达情绪,对眼神、身段都有严格标准。学习之初,姚家伟难以领悟技巧,在父亲手把手指导下,他不停地腾挪闪转,磨炼傩舞技艺。傩戏的难点不仅在于动作,更在于唱腔。傩戏唱腔没有曲谱,只有唱本,靠口口相授流传。姚家伟常常捧着剧本背台词到深夜,熟练掌握繁杂冗长的台词。 

  表演时需要佩戴重逾2斤的木雕面具,固定在脸上,经年累月,姚家伟的脸部都被夹磨破皮。“留存下来的面具都非常珍贵,能佩戴表演已经很难得,每场表演都要尽善尽美。” 

  为掌握更全面的技艺,姚家伟还练习了傩戏中最难的踩高跷。在反复练习与表演中,他逐渐成长为优秀的傩戏表演者。 

  抢救整理,让濒临失传的剧目重获新生 

  为更好地传承傩文化,姚家伟与老一辈共同整理傩戏资料,到各地搜集傩戏唱腔剧本。“那时候听闻哪家有传下来的傩戏剧本,我们就连日去拜访学习。”在他的不懈努力下,《孟姜女》《章文显》《陈州放粮》等许多傩戏被重新挖掘出来。傩戏表演逐渐活跃,从乡土民间走上更高规格的舞台。 

  2008年2月,姚家伟被文化部命名为国家级非物质文化遗产项目傩戏(池州傩戏)代表性传承人。这是对他多年来努力的最好认可。 

  培育新苗,让年轻一代接过传承火炬 

  技艺成熟后,姚家伟思考如何让更多人了解、参与傩戏。从组织人员到傩戏教学,他事无巨细,忙碌不停。 

  每年正月,他全程参与傩事活动,从前期筹备到演出安排,从台下教学到台上表演,都亲力亲为。多年来,仅正月期间他就表演傩戏300余场。 

  “姚街村正月傩仪已延续600余年了,每年正月的傩事活动是整个家族最重要的大事。”姚家伟说,“特别是本村的学生们,寒假归来积极投身傩戏练习,我被深深打动。就冲他们这股认真劲,我也要毫无保留地传授所学。” 

  教学时,姚家伟总是最早到场,将面具、服饰、道具摆放整齐。他先示范整套动作,每一个转身、踏步都力求精准,汗水浸透戏服也毫不懈怠。教“踩罡步”时,见学生记不住复杂舞步,他就用粉笔在地上画出行走路线,自己踩着斑驳的线痕反复走给孩子们看,青石板上渐渐磨出发亮的轨迹。 

  有学生面具戴歪了,他立刻上前调整系带:“傩面是傩戏的精髓,戴端正了才有威仪。”深夜排练结束后,他总是留下加练的学生,点着灯细说戏文典故。 

  创新融合,让古老艺术焕发时代生机 

  为使傩戏更易被大众接受,姚家伟根据传统傩戏剧本《五星会》,新编排了《五星观赏》,充分融合现代元素。他还在《打赤鸟》傩舞表演中创造性改进舞伞动作和唱腔方式,赋予新的时代内涵。 

  2015年,他应邀参加“中国南昌傩文化艺术周”表演活动,获得“伞舞”金奖和“关公登殿”优秀节目奖。2018年,他远赴法国巴黎参加“原生态意象节”,其表演得到国际友人和文艺界专家的高度肯定。 

  姚家伟经常组织“送戏进校园”活动,不仅带领团队去往安徽师范大学等高校演出,还深入各乡村学校,让学生们近距离接触傩戏,培养他们对傩戏的兴趣与热情。“牢记使命,一代代延续。这是传承一种精神,一种信仰。”姚家伟说。 

  他深知队伍年轻化是保护和传承傩戏的关键。这些年来,他以国家级传承人身份在池州市傩戏传习馆教授傩戏,积极参加各类活动宣传傩文化,希望带动更多年轻人走近、了解、传承傩戏。2015年7月,池州市启动非遗“名师带徒”工程,姚家伟作为傩艺培训班老师,参与了6批工程,带出方超、姚新祥等多名徒弟。 

  夜幕降临,姚街村的傩戏排练场地依然亮着灯。姚家伟抚摸着傩面具上的纹路,仿佛触摸到父亲当年的目光。那些专注与坚守里,流淌着对傩文化的深爱。青石板上发亮的轨迹,不仅是脚步磨出的印记,更是一条连接过去与未来的文化之路。“只要还有人愿意学,我就会一直教下去。”姚家伟说这话时,眼神坚定如初。 (马泽冰)

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姚家伟:三十载匠心守护 让千年傩戏焕发新生

近期,网络上流传着一则消息,称64岁的著名歌手齐秦罹患肺癌晚期。此消息一经传出,便迅速在网络空间蔓延开来,引起了众多歌迷以及广大网友的高度关注与深切担忧。这一消息犹如一颗投入平静湖面的巨石,瞬间在舆论界掀起轩然大波,各界人士纷纷对齐秦这位在华语乐坛具有传奇地位的人物的健康状况表示揪心。

然而,齐秦的家属迅速做出回应,明确否认了这一传闻。事实上,齐秦之前仅仅是感染了普通感冒,经过一段时期的调养,身体已经完全康复。当下,齐秦正在云南尽情享受高尔夫运动带来的乐趣。从相关照片能够清晰地看到,齐秦面色红润,精神状态极佳,完全没有患病的任何迹象。

在当今这个信息呈爆炸式增长的时代,信息传播的速度与广度达到了前所未有的程度。而谣言在这种环境下,往往展现出比真相更为迅猛的传播态势。齐秦被传患癌这一事件,再次凸显了公众人物隐私权与名誉权遭受冲击的现象。明星们在享受着舞台光环与荣耀的同时,也时刻面临着来自各方的无端谣言与恶意揣测。这一现象背后,反映出公众在信息接收过程中的理性缺失。作为公众,在面对纷繁复杂的信息时,是否应当秉持更多的理性与深入思考,而不是不假思索地盲目相信与肆意传播呢?

齐秦,作为华语乐坛的标志性人物,他的音乐在华语流行音乐发展历程中占据着举足轻重的地位。他的歌声犹如一把独特的钥匙,开启了几代人内心深处的情感之门。从《狼》中所传达出的孤独与不羁,到《大约在冬季》里蕴含的柔情与思念,齐秦凭借其独特的嗓音条件以及深情投入的演唱风格,为华语乐坛留下了诸多堪称经典的音乐作品。尽管岁月的痕迹不可避免地在他身上有所体现,但他对音乐的热爱与执着却始终坚定不移,宛如一颗璀璨的恒星,在音乐的星空中持续散发着独特的光芒。

此次齐秦的健康风波事件犹如一记警钟,敲响在网络这个虚拟却又与现实紧密相连的世界。在网络环境中,每一个个体都应当对自己的言行承担起相应的责任。尊重他人的隐私与权利,坚决做到不制造谣言、不轻易相信谣言、不传播谣言,这是构建一个健康、和谐、真实的网络环境的必要条件。同时,广大歌迷以及喜爱齐秦音乐的人们,更希望齐秦能够持续保持当前良好的状态,不断为华语乐坛注入新的活力,为大家带来更多的音乐惊喜。让我们将关注的重心重新回归到齐秦的音乐作品之上,用对其音乐作品的欣赏与对他艺术生涯的支持,为他在音乐道路上的持续前行加油助威。

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    谣言止于智者:齐秦家属否认传闻,歌坛传奇人物现身云南高尔夫场【健康】风尚中国网

      近日,宿州市博物馆面向社会公开招募寒假志愿者,此举吸引了众多热爱历史与公益的人士关注。不管是青少年还是成年人,只要对文博事业充满热情,愿意传播优秀传统文化,就可报名参与。经过培训后,志愿者将在展厅讲解、社教活动、展陈策划和环境保障等方面发挥特长,用热爱点亮文化传承之光。

      每一座博物馆,都是一个珍贵的文化宝库。近年来,随着公众文化消费需求持续升级,博物馆逐渐成为重要的公共文化空间。在这样的大背景下,文博志愿者群体在文化传播体系中扮演着重要的角色。汇聚了众多传统文化爱好者的文博志愿者团队,通过服务架起了文物与民众的连接桥梁,在一定程度上推动了优秀传统文化的创造性转化与创新性发展。可以说,文博志愿者不仅是历史知识的传播者,更是文化遗产保护理念的践行者。

      当前,志愿者已经成为博物馆公众教育的重要力量。公众参与热情持续高涨,既体现了社会对文化遗产保护事业的认同,也对志愿者管理机制提出了更高要求。作为重要的文化教育平台,博物馆要不断丰富和创新公众教育形式,如举办专题讲座、文物修复体验、文化创意DIY等活动,吸引更多人了解和感受中华文化的魅力。与此同时,要构建规范化、专业化的志愿者管理体系,提升公共服务质量,更好地守护珍贵的文化遗产。

      具体而言,需要进一步健全志愿者的培养机制,定期开展专业化和系统化的培训,不断提升他们的业务水平和服务能力,同时配套激励机制以保持队伍的稳定性。此外,还要与高校建立更紧密的合作机制,共同探索社会教育和志愿服务的新模式。例如,与高校开展文保课题的联合研究、文博人才的联合培养等,让更多年轻人参与到守护文物的志愿服务中,为中华优秀文化的传承注入更多活力。

      在服务中传承文明,在奉献中收获成长。青年学子、专家学者、热心市民等,都可以参与到博物馆的志愿服务中来。通过自己的无私奉献,不仅守护了我们的文物宝库,还可以让中华优秀传统文化在新时代焕发出更加璀璨的光芒。相信通过参与文博志愿服务,每位公民都能成为文化传承的践行者,共同谱写新时代文化遗产保护的崭新篇章。(王云)

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    宿州市:参与志愿服务 守护文化宝库

      核心提示

      在历史的长河中,家谱不仅是记录家族血脉的珍贵文献,更是连接过去与未来的文化桥梁。阜阳市图书馆四楼的“特色家谱馆”,目前收藏了近20种、约200册家谱,每一本都是对家族历史的精心编纂,每一页都蕴含着深厚的文化底蕴。近日,记者走进这个充满故事的场馆,聆听历史回声,体验家谱文化的魅力。

      收藏家谱近20种、约200册

      《颍州甯氏族谱》《王氏宗谱》《郑氏族谱》《颍淮朱氏族谱》《祁氏家谱》《颍东区杜氏族谱》《颍州罗姓族谱》……近日,记

      者在市图书馆四楼“特色家谱馆”看到,橱窗里展示的特色家谱达十几种。

      《阜阳颍东程氏支谱(程文炳家谱)》被单独设立一个展区。这里展示的程文炳家谱共计8册,已传承百年,内容翔实,具有重要的历史文化价值。这些程氏支谱由程家后人于今年3月8日捐赠给市图书馆。

      颍东程氏联谊会负责人程传飞表示,此次捐赠是程氏后人的共同决定,希望为阜阳地方历史文化研究贡献一份力量。

      9月25日,以冉健为代表的六位冉氏族人,将《阜阳冉氏家谱》捐赠给市图书馆。“冉氏在阜阳是个大家族,此次捐赠的2024版《阜阳冉氏家谱》,内容以阜亳两地的冉氏族群为主体,以1999版《阜阳冉氏家谱》为基础,根据人员变化进行了修订和完善,为市图书馆馆藏增添了重要的一笔,丰富了阜阳地方文献资源。”市图书馆馆长苏允雅说。

      苏允雅介绍,原来在老馆时,馆内家谱收藏较少;新馆开馆以来,他们积极面向社会各界征集各类书籍、资料等,其中包括部分市民捐赠的家谱。目前,市图书馆已经收藏家谱近20种、约200册(含副本)。

      家谱里面故事多

      由于市图书馆“特色家谱馆”知晓者不多,很少有市民前来查询或阅读,因此,记者有幸成为该馆首批查询借阅者之一。不过,借阅前需要在前台进行登记,且借阅的家谱不能带走,只能在现场的阅读区阅读,看完后当场归还。

      记者借阅的是一套《阜阳颍东程氏支谱(程文炳家谱)》。翻阅这套家谱,除了续谱、“姓氏所自出”、家族碑墓及祠堂记载、字派命名等内容外,更有不少内容涉及家族姓氏起源、家族历代先辈贤人的事迹等。如这套家谱中有程氏对联:“明道伊川分派久,福山颍水振家声”“伊川分世派,颍水振家声”,说明颍东程氏这一支,属于河南“二程”(程颢、程颐)后裔颍东程氏分支;还有“程子之歌”,里面提到的典故和人物,如“程婴救孤”、程咬金等,都是人们熟知的。

      家谱中还记载了程氏先人的贤德与功绩。如“程本仲尼,倾盖论交”,程氏家谱记载,程本是春秋时著名哲学家,曾与孔子相遇,孔子卷起车盖与他谈论学问,越谈越投机,并称他是“天下贤士”;“程邈坐狱,改篆为隶”说的是程氏先人程邈,本是秦朝一个小官,曾当过县狱吏,负责文书一类差事。因他性情耿直,得罪了秦始皇,被关进了云阳狱中,他在狱中将篆书改革为隶书等;“我祖颢颐,洛学奠基”,是说程颢与其弟程颐同学于周敦颐,共创“洛学”,为理学奠定了基础,世称“二程”。

      在这套家谱中,尤其详细记载了程氏“一门三提督”的事迹。比如,清末著名爱国将领程文炳是颍东区枣庄镇海孜村人,历任九江镇总兵、寿春镇总兵、湖北提督、福建陆路提督、长江水师提督。清末国难之际,他主张抗日、抗法,对外拒降拒赔,坚持教育救国,振兴民族经济,彰显了一代名将拳拳爱国心。

      通过展陈及工作人员介绍,记者得知,家谱具有明辨世系、尊宗敬祖、寻根留本、承前启后、敦亲睦族、凝聚血亲、治家齐国、教化子孙、传承历史、开创未来等作用。

      研究与利用刚起步

      司马迁在《史记·太史公自序》中说:“唯三代上矣,年纪不可考,盖取之谱牒旧闻。”这里的谱牒,就是古代记述氏族世系的书籍。一个氏族,无论是母系氏族还是父系氏族,都是具有血缘关系的同一姓氏人群,也就是一家人。“三代上矣”,即夏、商、周三朝以前,也就是炎、黄、尧、舜、禹时期,甚至是更久远的时期。司马迁写《史记》时,对这些上古历史时期的“年纪不可考”,就“取之谱牒旧闻”,到家谱的记载中去查找。

      工作人员介绍,家谱包括宗谱、族谱、祖谱、房谱等,是系统记述某一同宗共祖血缘关系集团的世系、人物和事迹等方面的历史图籍,是中国特有的文化遗产。它与方志、正史共同构成了中华民族历史大厦的三大支柱,属于珍贵的人文资料。

      家谱文献对于研究阜阳姓氏文化及宗族发展具有重要意义,并且有不少可与方志、正史相互印证,有的还能提供线索、丰富正史内容、辨误存真。

      苏允雅介绍,目前馆藏的市民家谱、族谱等数量还是偏少,对家谱的研究和利用尚处于起步阶段,尤其是缺乏相关家谱研究人才。

      “我们正努力为市民搭建查询、研究家谱文化,‘认祖归宗’的平台。待市民捐赠的家谱数量较多时,将考虑与方志部门合作,加大对家谱研究与利用的力度。”苏允雅说。(记者 储继明 文/摄)

      链接

      市民怎样捐赠家谱

      市图书馆制定了《阜阳市图书馆接受文献捐赠及入藏管理办法(试行)》,积极面向社会各界征集各类书籍、资料等,其中就包含家谱。

      捐赠方式有三种:到馆捐赠,邮寄捐赠,以及拨打电话0558-2265113进行捐赠。

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    来这里,感受家谱文化魅力

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